原子力顯微鏡利用微懸臂感受和放大懸臂上尖細(xì)探針與受測(cè)樣品原子之間的作用力，從而達(dá)到檢測(cè)的目的，具有原子級(jí)的分辨率。

主要技術(shù)指標(biāo)

成像模式：接觸模式、輕敲模式、相位模式、水平力模式、力調(diào)制模式；

分辨率：水平0.2nm，垂直0.01nm；

最大掃描范圍：30um x 30um x 5um